本發(fā)明公開(kāi)一種無(wú)損檢測(cè)用同步掃描裝置、系統(tǒng)和方法，包括：第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、第二運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、檢測(cè)模塊和圖像處理模塊，所述檢測(cè)模塊與所述第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、所述第二運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)中一個(gè)連接，檢測(cè)樣品則與所述第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、所述第二運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)中另一個(gè)連接，所述第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、所述第二運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述檢測(cè)樣品、所述檢測(cè)部件運(yùn)動(dòng)；所述第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述第二運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)同步掃描，分別實(shí)現(xiàn)第一方向、第二方向的掃描軌跡；所述圖像處理模塊將上述第一方向、第二方向的掃描軌跡合成預(yù)定的掃描軌跡。本發(fā)明能有效實(shí)現(xiàn)快速同步掃描，既能保證良好的掃描效果，又能大大提高掃描速度。