本發(fā)明公開一種大曲率微小件表面多層金屬薄膜的無損檢測方法，包括以下步驟：S1：采用同步輻射X射線微束技術(shù)對樣品進(jìn)行檢測；S2：采用切入射方法獲得表面金屬膜層的衍射信號(hào)，通過轉(zhuǎn)動(dòng)樣品，使樣品與入射X射線相切，入射X射線與樣品表面夾角趨近于0°，進(jìn)而獲得表面金屬膜層的衍射信號(hào)；S3：采用掠入射方法獲得中間金屬膜層的衍射信號(hào)，通過轉(zhuǎn)動(dòng)樣品，使樣品中間層與入射X射線形成夾角，夾角小于5°，進(jìn)而獲得中間層金屬薄膜鍍層的衍射信號(hào)；S4：采用透射方法對衍射信號(hào)進(jìn)行校準(zhǔn)，此時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)樣品，使X射線水平穿透2層復(fù)合鍍層，從而獲得2套衍射信號(hào)以輔助校準(zhǔn)；采用具有高亮度的同步輻射光源和同步輻射微束技術(shù)獲得微米級(jí)的空間分辨率。