本發(fā)明公開了一種藍(lán)寶石微缺陷無損檢測(cè)裝置，該裝置中激光器、分光鏡和藍(lán)寶石樣品固定在光路直線導(dǎo)軌上的同一個(gè)水平面上；激光器發(fā)出的激光經(jīng)分光鏡分成兩路：參考光和入射光，高清CCD1采集參考光信號(hào)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)；入射光照射藍(lán)寶石樣品后分為透射光和散射光，高清CCD2采集透射光信號(hào)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)，高清CCD3采集散射光信號(hào)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)，同步觸發(fā)器使高清CCD1和高清CCD2同步對(duì)參考光和透射光進(jìn)行采集。本發(fā)明對(duì)藍(lán)寶石微/納米級(jí)缺陷進(jìn)行檢測(cè)同，不受樣品形狀、尺寸的影響，可以在線檢測(cè)、靈敏度高、重復(fù)性好、測(cè)量結(jié)果精確，不受衍射極限的限制，能分析由缺陷引起對(duì)應(yīng)脈沖信號(hào)的衰減，便于標(biāo)準(zhǔn)化處理。