本實用新型公開一種無損傷檢測PSS的裝置，屬于PSS制程檢測領(lǐng)域，包括機架、分別安裝在機架上的樣品盒和暗室、及設(shè)置在機架外側(cè)的圖像輸出裝置；暗室內(nèi)設(shè)有承載臺、第二驅(qū)動裝置、平行光源發(fā)生器、與平行光源發(fā)生器連接的調(diào)焦裝置、及設(shè)置在暗室內(nèi)壁上的光學收集器，樣品盒和暗室間設(shè)有第一驅(qū)動裝置，第一驅(qū)動裝置上設(shè)有樣品傳動裝置，第一驅(qū)動裝置包括上下驅(qū)動機構(gòu)和水平旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)，上下驅(qū)動機構(gòu)用于將樣品盒內(nèi)不同高度樣品取出，水平旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)通過驅(qū)動樣品傳動裝置將樣品送至暗室內(nèi)承載臺上。該裝置在不破壞樣本的前提下，方便、準確的獲取樣本信息，具有成本低、反應(yīng)迅速，能全面監(jiān)控生產(chǎn)的優(yōu)點，適用于生產(chǎn)管控。