本發(fā)明屬于激光清洗領(lǐng)域，具體地說是一種均勻水膜晶圓顆粒物無損激光清洗方法。包括以下步驟：1)檢測(cè)待清洗晶圓的顆粒污染物尺寸是否符合清洗范圍；若不符合將待清洗晶圓夾持在工作區(qū)域中，執(zhí)行下一步驟，反之，更換晶圓并重復(fù)步驟1)；2)通過去離子水裝置的水噴頭在待清洗晶圓表面噴水形成一層去離子水膜；3)激光清洗：設(shè)置激光工藝參數(shù)，通過控制夾持機(jī)械手，使晶圓法線與激光器發(fā)射的激光束形成夾角，設(shè)定激光器對(duì)待清洗晶圓一表面上進(jìn)行多次清洗；4)對(duì)待清洗晶圓進(jìn)行翻面，通過操作步驟2)～3)對(duì)晶圓的另一表面完成清洗；5)檢測(cè)激光清洗后的晶圓表面顆粒污染物，若殘留顆粒污染物超過設(shè)定值，返回步驟1)，反之，清洗合格。