本申請涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，提供一種材料缺陷檢測方法、裝置、電子設(shè)備及計算機(jī)存儲介質(zhì)。包括：基于檢測請求發(fā)射脈沖激光光束，并將所述脈沖激光光束調(diào)節(jié)為準(zhǔn)直光束；對所述準(zhǔn)直光束進(jìn)行聚焦，使聚焦形成的激光光斑輻射至待檢測半導(dǎo)體材料；接收所述待檢測半導(dǎo)體材料受所述激光光斑激發(fā)產(chǎn)生的機(jī)械波，基于所述機(jī)械波進(jìn)行缺陷檢測，得到所述待檢測半導(dǎo)體材料的缺陷檢測結(jié)果。本申請由于脈沖激光光束不會對待檢測半導(dǎo)體材料產(chǎn)生損害，可以實現(xiàn)待檢測半導(dǎo)體材料的無損缺陷檢測；同時，基于機(jī)械波進(jìn)行待檢測半導(dǎo)體材料的缺陷檢測，可以得到精準(zhǔn)的缺陷檢測結(jié)果。因此，可以提高對半導(dǎo)體材料進(jìn)行缺陷檢測的缺陷檢測技術(shù)的實用性。