為克服現(xiàn)有半導(dǎo)體樣品缺陷檢測系統(tǒng)檢測效率低、精確度差以及有損的問題，本發(fā)明提供了一種用于半導(dǎo)體缺陷檢測的系統(tǒng)，包括第一光源，用于使半導(dǎo)體樣品產(chǎn)生散射光，第二光源，用于使半導(dǎo)體樣品產(chǎn)生第一反射光，第三光源，用于使半導(dǎo)體樣品產(chǎn)生第二反射光和光致發(fā)光；光致發(fā)光檢測組件，用于檢測半導(dǎo)體樣品上單個(gè)發(fā)光單元的熒光光譜以及熒光圖像；散射光檢測組件，用于檢測散射光的圖像；反射光檢測組件，用于檢測第一反射光和第二反射光的圖像。本發(fā)明提供的檢測系統(tǒng)能夠同時(shí)、快速、無損的進(jìn)行半導(dǎo)體外表面缺陷、次表面缺陷以及器件缺陷檢測，檢測準(zhǔn)確度高，適用Mini LED、Micro LED的缺陷檢測和質(zhì)量分析。