本發(fā)明公開了一種micro LED芯片的拉曼增強(qiáng)的檢測方法及其裝置。本發(fā)明提出的檢測方法中，將光致發(fā)光檢測和拉曼檢測結(jié)合，光致發(fā)光檢測提供發(fā)光波長和亮度信息，拉曼檢測給出電學(xué)性質(zhì)，彌補(bǔ)了光致發(fā)光檢測準(zhǔn)確度不足的問題；采用電子能級共振以及表面等離激元共振增強(qiáng)拉曼技術(shù)使得拉曼散射強(qiáng)度有103～108的增強(qiáng)，部分達(dá)到了光致發(fā)光的強(qiáng)度，從而為快速測量奠定基礎(chǔ)；金屬納米結(jié)構(gòu)不但提高micro LED芯片的發(fā)光效率，同時(shí)也可以利用表面等離激元增強(qiáng)拉曼散射信號，提高檢測速度；顯微拉曼檢測是一種無損傷測試手段，檢測過程簡單，所需時(shí)間短，檢測速度快，且不需要對micro LED芯片進(jìn)行特別處理，適用于micro LED芯片的巨量檢測。