本實用新型公開了一種半導(dǎo)體檢測設(shè)備,包括支撐架和橫軸，所述橫軸設(shè)置在支撐架的下面，所述橫軸上設(shè)有萬向輪，所述支撐架中心處設(shè)有SQUID檢測系統(tǒng)，所述SQUID檢測系統(tǒng)包括檢測外殼、SQUID探頭和聚焦透鏡，所述SQUID探頭設(shè)置在檢測外殼下面，所述聚焦透鏡設(shè)置在SQUID探頭下面，所述檢測外殼內(nèi)側(cè)頂端設(shè)有傳感器，所述檢測外殼一側(cè)設(shè)有光電管，所述檢測外殼另一側(cè)設(shè)有機械手，所述支撐架左側(cè)固定有SQUID控制器，所述SQUID檢測系統(tǒng)下面設(shè)有防震檢測臺，所述防震檢測臺下面設(shè)有旋轉(zhuǎn)臺，所述旋轉(zhuǎn)臺與支撐架轉(zhuǎn)動連接。該實用新型，實現(xiàn)了無損檢測，檢測的精度較高，具有良好的分辨率，在半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)分析和光電器件性能檢測等方面，具有很好的應(yīng)用前景。