基于太赫茲時(shí)域光譜的材料表面光潔度檢測方法，屬于太赫茲應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明是為了解決現(xiàn)有的探針法不適用于帶涂層的材料表面光潔度的檢測的問題。本發(fā)明首先制作一系列標(biāo)準(zhǔn)試件，然后測量標(biāo)準(zhǔn)試件特定區(qū)域中多個(gè)點(diǎn)處的太赫茲時(shí)域反射信號(hào)，應(yīng)用傅里葉變換得到頻域譜；然后采用相關(guān)分析確定用于光潔度檢測的最優(yōu)頻率點(diǎn)，求出多個(gè)點(diǎn)處的太赫茲數(shù)據(jù)特征的平均值，然后采用數(shù)據(jù)擬合的方法建立標(biāo)準(zhǔn)試件的光潔度檢測模型；再測量待測試件多個(gè)點(diǎn)處的太赫茲時(shí)域光譜反射信號(hào)，應(yīng)用傅里葉變換得到頻域譜；最后選擇最優(yōu)頻率處的太赫茲數(shù)據(jù)特征，并調(diào)用光潔度檢測模型計(jì)算待測試件的光潔度值。本發(fā)明的檢測方法具有無損、非接觸和快速的優(yōu)點(diǎn)。