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針對大口徑深矢高的光學自由曲面檢測方法及裝置

861   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 08:58:16
一種大口徑深矢高的自由曲面檢測方法及裝置,屬于光學測量技術(shù)領(lǐng)域,為了解決現(xiàn)有技術(shù)對非對稱大尺寸光學自由曲面的非接觸無損檢測方法存在的問題,該方法是通過設(shè)計時被測自由曲面的公式與STL模型結(jié)合,將被測自由曲面用一系列三角面片離散地近似構(gòu)成三維區(qū)域曲面;然后根據(jù)曲率劃分區(qū)域,再通過已知的被測自由曲面公式對各個區(qū)域進行計算,繪圖得到八位灰度圖,再對ZYGO干涉儀的光束進行編碼,編碼方式與繪制八位灰度方式相對應(yīng);通過對ZYGO干涉儀的光束編碼后可使液晶空間光調(diào)制器對其相應(yīng)的區(qū)域進行測量;本發(fā)明檢測效率高、成本低、并且具有體積小、精度高、便于控制等優(yōu)點;該方法將在大型的光學系統(tǒng)檢測中具有廣泛的應(yīng)用前景。
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