本實用新型屬于一種檢測裝置,特別涉及一種可有效地檢出晶片表面或晶片亞表面的微小缺陷和沾污的拋光表面檢測儀。由機箱、控制裝置和置于機箱內(nèi)的光源裝置、樣品輸送裝置、成象屏、攝像裝置組成;本實用新型的優(yōu)點是:1.可準確地檢測出材料拋光表面的質(zhì)量狀況,提高產(chǎn)品合格率,從而降低成本。2.本實用新型為無損檢測造價較低。3.檢測費用低廉。
聲明:
“拋光表面檢測儀” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)