本發(fā)明提供一種用透光鏡檢測8英寸拋光片缺陷的方法，所述方法使用透光鏡設(shè)備檢測8英寸拋光片的缺陷。本發(fā)明提供的一種用透光鏡檢測8英寸拋光片缺陷的方法，利用透光鏡實現(xiàn)了無損傷地和實時地檢測大面積硅片的表面結(jié)構(gòu)性質(zhì)，并總結(jié)歸納了各種硅片缺陷的不良圖譜，實現(xiàn)了對單晶硅晶圓片的質(zhì)量的在線監(jiān)控。