本發(fā)明涉及一種用于對電子器件進行缺陷檢查的方法，所述方法具有以下步驟：通過自動光學檢查對生產(chǎn)線中的電子器件進行檢查；確定無法用自動光學檢查進行檢查的區(qū)域的坐標；將所述區(qū)域的坐標從生產(chǎn)線傳輸給計算機；將電子器件從生產(chǎn)線轉移到用于無損材料檢測的X射線裝置中，所述X射線裝置設置在生產(chǎn)線之外；將所述區(qū)域的坐標由計算機傳輸給X射線裝置；僅在不能利用自動光學檢查進行檢查的區(qū)域中，通過X射線裝置進行檢查；將在X射線裝置中進行的檢查的結果傳輸給計算機；如果結果是電子器件沒有缺陷，則將所述電子器件回送到生產(chǎn)線中。