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振動環(huán)境下反射鏡組件微小相對位移測量裝置及測量方法

935   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 08:58:26
本發(fā)明屬于光學(xué)精密檢測技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種振動環(huán)境下反射鏡組件微小相對位移測量裝置及測量方法,測量裝置包括振動連接板、振動連接桿、探測器支撐座、探測器壓板、光譜共焦鏡頭、耦合器、LED光源信號控制器、光纖、數(shù)據(jù)采集模塊、數(shù)據(jù)后處理模塊,以振動連接板為基體,將振動臺、待測反射鏡組件、振動連接桿連接為一個剛體,通過調(diào)節(jié)光譜共焦鏡頭的共焦面,實現(xiàn)鏡框和反射鏡之間相對位移的高精度測量。本發(fā)明解決了反射鏡組件相對位移測量過程中的測量精度低、架設(shè)復(fù)雜、測量過程對反射鏡造成損傷等問題,具有結(jié)構(gòu)簡單、剛性好、架設(shè)簡單,測量精度高,對反射鏡測量無損傷等特點。
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