一種鉭酸鋰、鈮酸鋰晶片電阻率測(cè)試裝置，包括第一透明板、第二透明板、第一柔性環(huán)形圈、第二柔性環(huán)形圈，第一柔性環(huán)形圈設(shè)置在第一透明板的內(nèi)側(cè)側(cè)壁上，第二柔性環(huán)形圈設(shè)置在第二透明板的內(nèi)側(cè)側(cè)壁上，還在第一透明板的內(nèi)部設(shè)置第一測(cè)試液注入通道和第一排氣通道，還在第二透明板的內(nèi)部設(shè)置第二測(cè)試液注入通道和第二排氣通道，本發(fā)明中通過(guò)將待測(cè)晶片進(jìn)入電解液的方式引出待測(cè)晶片的兩極，這種方式對(duì)測(cè)試后晶片無(wú)損傷、無(wú)影響，沖洗后仍然可以作為成品使用；通過(guò)第一柔性環(huán)形圈、第二柔性環(huán)形圈限定晶片的測(cè)試面積，對(duì)晶片表面無(wú)劃傷、無(wú)破壞；通過(guò)從電解液中插入電極的方式引出晶片的兩極，電阻無(wú)損耗，測(cè)試精度高。