利用共聚焦激光掃描顯微系統(tǒng)測量介質(zhì)表面粗糙度的方法涉及精密加工與精確測量領域,該方法包括設計了共聚焦激光掃描顯微系統(tǒng),在探測器前設置可調(diào)針孔光闌;設計了掃描范圍100微米控制精度可達10納米的激光掃描器和物距與傾角都可調(diào)的載物臺,選定405納米波長激光器;設定光闌針孔為
聲明:
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