本發(fā)明涉及一種薄層材料方塊電阻和連接點接觸電阻測試方法，包括：在薄層材料的表面安裝至少四個電極；對所述電極之間的電阻進行測量；根據(jù)理論模型，從測量的所述電極之間的電阻、和所述電極之間的距離計算所述薄層材料的方塊電阻和電極接觸電阻。本方法的主要特點是簡單方便，是一種薄層材料方塊電阻和電極接觸電阻的無損檢測方法，對電極分布沒有嚴格要求。