本發(fā)明公開一種基于顯微干涉和有限差分的微/納懸臂梁的曲率測量方法,是由如下過程完成:第一步,應用相移顯微干涉法測量被測微/納懸臂梁的表面彎曲數(shù)據(jù);第二步,應用有限差分法解析出被測微/納懸臂梁的彎曲量;第三步,將第一步得到的表面彎曲數(shù)據(jù)與第二步得到的彎曲量進行比較,從而求出測量彎曲量與解析彎曲量之間差值最小時的曲率值。本發(fā)明采用相移顯微干涉法測量懸臂梁表面的彎曲量,具有高精度和高分辨率,對待測器件是非破壞的無損測量,應用有限差分法解析出懸臂梁彎曲量的實現(xiàn)簡單,建模更加接近于真實情況,結(jié)果準確可靠,可用于微懸臂梁或納懸臂梁(具有微米寬度和納米厚度的納懸臂梁)曲率的測量。