本發(fā)明提供的一種測(cè)量介質(zhì)導(dǎo)體沉積界面微波表面電阻的裝置及方法，屬于電子學(xué)領(lǐng)域，裝置包括測(cè)試座、校準(zhǔn)組件、密封腔和支撐板，測(cè)試座包括底端面開(kāi)放的屏蔽腔、介質(zhì)柱、輸入耦合結(jié)構(gòu)、輸出耦合結(jié)構(gòu)和介質(zhì)支撐裝置，待測(cè)介質(zhì)導(dǎo)體樣品與測(cè)試座構(gòu)成TE011模式的介質(zhì)諧振器；分別將校準(zhǔn)組件和待測(cè)導(dǎo)體樣品裝配在測(cè)試座上，測(cè)得對(duì)應(yīng)品質(zhì)因數(shù)，進(jìn)而計(jì)算得到待測(cè)介質(zhì)導(dǎo)體樣品的沉積界面微波表面電阻。本發(fā)明僅進(jìn)行一次無(wú)損測(cè)量即可獲得介質(zhì)導(dǎo)體沉積界面的微波表面電阻，解決因?qū)w層趨膚深度限制而導(dǎo)致無(wú)法準(zhǔn)確測(cè)試介質(zhì)導(dǎo)體沉積界面微波表面電阻的問(wèn)題，同時(shí)具有較高的測(cè)試效率，尤其適合大批量工業(yè)化的測(cè)試。