本發(fā)明涉及一種薄膜材料相變溫度測(cè)量裝置，包括襯底、電極陣列、探測(cè)光光源、信號(hào)探測(cè)裝置、紅外測(cè)溫裝置和計(jì)算機(jī)；襯底為不透光襯底，電極陣列置于襯底上，待測(cè)薄膜覆蓋于電極陣列的表面，探測(cè)光光源向待測(cè)薄膜表面發(fā)射探測(cè)光，在探測(cè)光光斑落點(diǎn)平面內(nèi)，電極陣列在至少一個(gè)方向呈現(xiàn)周期性結(jié)構(gòu)，探測(cè)光的入射方向與電極的周期性變化方向相同；信號(hào)探測(cè)裝置獲取經(jīng)電極陣列衍射的探測(cè)光信號(hào)，傳輸至計(jì)算機(jī)；電極陣列的一端接電源正極、另一端接電源負(fù)極，通電后能夠?yàn)榇郎y(cè)薄膜加熱，紅外測(cè)溫裝置安裝于待測(cè)薄膜上方監(jiān)測(cè)待測(cè)薄膜的溫度，傳輸至計(jì)算機(jī)。本發(fā)明裝置及方法基于光學(xué)衍射，能夠準(zhǔn)確、快速地測(cè)量薄膜相變溫度，具有快速、無(wú)損測(cè)量的特點(diǎn)。