本發(fā)明涉及一種直接測定樣品中痕量鋁、硅、磷、硫、氯元素含量的分析裝置及方法，該裝置包括X射線熒光分析儀單元(200)、充氣單元(100)、樣品杯(300)以及控制單元；X射線熒光分析儀單元(200)包括能夠進(jìn)行氣體填充的樣品測試腔(203)；充氣單元(100)能夠可控制地向樣品測試腔(203)內(nèi)進(jìn)行充氣、排氣；控制單元，對(duì)該分析裝置進(jìn)行控制，并將采集到的數(shù)據(jù)進(jìn)行積分、統(tǒng)計(jì)、繪制工作曲線、標(biāo)定等處理，一次性得到被測樣品中鋁、硅、磷、硫、氯每個(gè)元素的含量。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于樣品無需前處理，適用于固體和液體樣品，具有無損、直接、快速、靈敏度高、使用成本低、便于現(xiàn)場測量等特點(diǎn)。