本發(fā)明公開一種晶圓銅膜厚度在線測量模塊控制系統(tǒng)，采用上層控制系統(tǒng)和底層控制系統(tǒng)的兩級控制模式，兩層控制系統(tǒng)之間通過工業(yè)以太網(wǎng)實現(xiàn)物理連接。其中，底層控制系統(tǒng)利用可編程邏輯控制器PLC，負責直接控制化學機械拋光單元的在線測量模塊，并建立專用的存儲區(qū)臨時存儲測量模塊在工藝過程中采集到的數(shù)據(jù)。上層控制系統(tǒng)采用工控機IPC，通過底層控制系統(tǒng)監(jiān)控在線測量模塊的運行，并利用OPC技術(shù)主動讀取底層存儲區(qū)中的數(shù)據(jù)，完成數(shù)據(jù)的處理，為工藝人員提供操作軟件。基于工藝需求，本發(fā)明的控制系統(tǒng)設(shè)置了標定和測量兩種模式，并可分組存儲多個標定表以消除不同工藝配方對測量結(jié)果的影響。本發(fā)明具有無損測試、操作簡單、便于維護、良好的可擴展性以及安全可靠的優(yōu)點。