本發(fā)明公開了一種多孔low?k材料孔隙率的測試方法，通過在二片晶圓上以是否通入致孔劑作為區(qū)別條件，分別沉積無孔low?k介質(zhì)層和多孔low?k介質(zhì)層，并將計(jì)算得到的無孔low?k介質(zhì)層的密度作為采用質(zhì)量體積法測量孔隙率時(shí)的理想狀態(tài)下致密無孔low?k介質(zhì)的真密度，以相對法得到多孔low?k介質(zhì)層的孔隙率，從而實(shí)現(xiàn)對多孔low?k介質(zhì)層孔隙率的無損測試，消除了現(xiàn)有的質(zhì)量體積法測量孔隙率時(shí)需要破壞樣品、步驟復(fù)雜及容易失準(zhǔn)的缺陷，因此，本發(fā)明的測試方法具有操作簡單易行、成本低的特點(diǎn)，同時(shí)保證了測試的準(zhǔn)確性。