本發(fā)明提供的一種鐵電晶體單軸壓下壓電系數(shù)的測量裝置及方法，包括用于安裝待測樣品的夾具、用于獲取設(shè)定電壓下的待測樣品位移量的數(shù)據(jù)采集單元、用于向待測樣品提供直流電壓的外電場單元，以及分別與數(shù)據(jù)采集單元和外電場單元連接的控制系統(tǒng)；本系統(tǒng)能夠避免現(xiàn)有方法中涉及的單軸壓力與低頻交變力的疊加的問題，同時，能夠無損失的傳遞位移，保證了測試精度。