本發(fā)明公開了一種基于掃描電子顯微鏡測量側(cè)壁傾斜角的方法，屬于半導體技術(shù)領(lǐng)域。所述方法包括：將電子束沿豎直方向傾斜第一角度入射溝道，通過掃描電子顯微鏡拍攝溝道圖片得到第一圖片，分析第一圖片得到第一角度與預測量的側(cè)壁傾斜角之間的第一關(guān)系表達式；將電子束沿豎直方向傾斜第二角度入射溝道，第二角度與第一角度不等，通過掃描電子顯微鏡拍攝溝道圖片得到第二圖片，分析第二圖片得到第二角度與預測量的側(cè)壁傾斜角之間的第二關(guān)系表達式；根據(jù)第一關(guān)系表達式和第二關(guān)系表達式推算出預測量的側(cè)壁傾斜角的大小。本發(fā)明中，不僅實現(xiàn)了側(cè)壁傾斜角快速的在線無損測量，而且能夠節(jié)約時間和成本，縮短研發(fā)周期，從而滿足大規(guī)模的生產(chǎn)要求。