一種小型激光精密測(cè)長(zhǎng)儀器,其激光干涉儀光路是無(wú)擴(kuò)束望遠(yuǎn)鏡的細(xì)光束干涉儀光路,精密導(dǎo)軌采用兩根圓柱形導(dǎo)軌,傳動(dòng)絲杠與兩根圓柱形導(dǎo)軌三軸平行放置,且呈階梯式分布。本儀器光學(xué)元件尺寸小,機(jī)械結(jié)構(gòu)緊湊,體積小,重量輕,且重心低,穩(wěn)定性好,受振動(dòng)影響小;既能進(jìn)行接觸測(cè)量,亦能進(jìn)行非接觸無(wú)損測(cè)量;加工容易,造價(jià)低,對(duì)使用環(huán)境條件要求低,適于推廣應(yīng)用?？蓮V泛用于精密零部件的測(cè)量。