本發(fā)明屬于溫度測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種基于橢偏儀的薄膜溫度測(cè)量方法。本發(fā)明利用橢偏儀測(cè)量被測(cè)薄膜的折射率譜線與標(biāo)準(zhǔn)折射率譜線，將兩者比較，采用最小二乘法得到最佳匹配曲線，從而根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)譜線所對(duì)應(yīng)的溫度值得到被測(cè)薄膜的溫度值。本發(fā)明可非直接、無(wú)損耗地測(cè)量固體薄膜實(shí)時(shí)或非實(shí)時(shí)溫度。測(cè)量過(guò)程中對(duì)薄膜材料沒(méi)損傷，當(dāng)實(shí)驗(yàn)條件不發(fā)生明顯變化時(shí)，該方法具有較高的置信度。當(dāng)標(biāo)準(zhǔn)折射率譜的溫度間隔取得較小時(shí)，該方法具有較高的精度。