本發(fā)明涉及用于原位測(cè)量MEMS微梁的厚度的方法。提供了一種用于原位測(cè)量MEMS微梁的厚度的方法，該方法包括：獲取MEMS微梁的結(jié)構(gòu)參數(shù)；獲取MEMS微梁的吸合電壓、固有頻率和振型函數(shù)；根據(jù)MEMS微梁的結(jié)構(gòu)參數(shù)、吸合電壓、固有頻率和振型函數(shù)，確定MEMS微梁的厚度。MEMS微梁的結(jié)構(gòu)參數(shù)包括MEMS微梁的長(zhǎng)度、寬度和高度，高度為MEMS微梁的上表面與位于MEMS微梁下方的底部電極的上表面之間的距離。上述用于原位測(cè)量MEMS微梁的厚度的方法，由于根據(jù)MEMS微梁的結(jié)構(gòu)參數(shù)、吸合電壓、固有頻率和振型函數(shù)，確定所述MEMS微梁的厚度，因此能夠?qū)崿F(xiàn)微梁厚度的高精度無(wú)損在線測(cè)量，這對(duì)快速準(zhǔn)確地評(píng)價(jià)MEMS器件的性能至關(guān)重要。