本發(fā)明涉及一種基于應變能測量圖形化薄膜等效楊氏模量的方法，包括：從微觀尺度著手將圖形化結構假設為復合材料結構，進一步從宏觀尺度等效成均質等效體；利用能量法和有限元的方法求解出用彈性應變能表示的圖形化結構的等效彈性矩陣；將其作為圖形化結構參數(shù)并建立圖形化薄膜/襯底分層結構；計算聲表面波在分層結構中傳播的理論頻散曲線；獲得待測樣片實驗頻散曲線；理論曲線與實驗曲線匹配得到圖形化薄膜樣片的等效楊氏模量。本發(fā)明能夠無損、準確、快速的測量圖形化結構的力學參數(shù)，填補了之前方法不能表征圖形化結構特性的空缺。