本發(fā)明公開了一種太赫茲器件用碳納米管取向度測量裝置及方法。壓板布置在底板的上面，定向排列碳納米管陣列布置在基底，定向排列碳納米管陣列和基底共同布置在壓板和底板之間，且被壓板和底板壓緊在中間；壓板上面鉸接地安裝有頂板；頂板上布置有多個轉(zhuǎn)子電極，壓板上布置多個和定向排列碳納米管陣列接觸的定子電極，轉(zhuǎn)子電極上端連接電阻測量儀器的兩端，轉(zhuǎn)子電極下端穿過頂板后和壓板上的定子電極電連接。利用碳納米管的電學(xué)偏振性，通過簡單、快速和無損的方法獲取定向排列碳納米管陣列的取向度，解決了現(xiàn)有技術(shù)中通過光學(xué)、掃描電鏡等方式測量碳納米管陣列取向度存在的破損、時間長等問題。