本發(fā)明公開了一種微束微區(qū)X射線探針分析儀,采用了X光管與聚焦毛細(xì)管的方式產(chǎn)生X射線對待檢測樣品微區(qū)進(jìn)行特征X射線激發(fā),所述分析儀主要包括:電子微動測量平臺,用于對樣品微區(qū)進(jìn)行定位,獲取樣品微區(qū)的圖像信息,XRF能譜儀實(shí)現(xiàn)樣品的X射線檢測,并將能譜曲線發(fā)送到PC機(jī);PC上位機(jī)軟件系統(tǒng),通過相應(yīng)的控制設(shè)備的控制實(shí)現(xiàn)譜線的分析,并獲取分析后的結(jié)果。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了樣品的無損檢測,且檢測時無須對樣品進(jìn)行表面導(dǎo)電處理,同時采用了激光定位系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了系統(tǒng)的自動定位,方便了用戶的操作并節(jié)約了操作所需的時間。