原子力聲學(xué)顯微鏡懸臂梁接觸諧振頻率追蹤系統(tǒng)主要用于快速獲取原子力顯微鏡懸臂梁的接觸諧振頻率,進(jìn)而實(shí)現(xiàn)原子力聲學(xué)顯微鏡的快速彈性模量成像,屬于無損檢測領(lǐng)域。本發(fā)明基于原子力顯微鏡懸臂諧振曲線峰值對應(yīng)的電壓信號,控制壓控振蕩器輸出諧振中心頻率的正弦電壓信號激勵(lì)壓電傳感器的原理。主要包括與原子力聲學(xué)顯微鏡懸臂梁的光電二極管探測器連接的有效值直流轉(zhuǎn)換電路(RMS-DC)、與原子力聲學(xué)顯微鏡的壓電傳感器連接的壓控振蕩器(VCO),以及處理頻率信號的DSP控制板。DSP控制板控制VCO輸出諧振中心頻率的正弦電壓信號激勵(lì)壓電傳感器,得到諧振曲線,進(jìn)而得到諧振曲線的中心頻率,實(shí)現(xiàn)了一種快速自動(dòng)頻率跟蹤系統(tǒng)。