本發(fā)明公開一種硅太陽能電池缺陷的渦流掃查系統(tǒng)，檢測缺陷引起的硅太陽能電池的電各向異性改變情況，以雙探頭旋轉(zhuǎn)掃查得到的電各向異性分布圖或單一渦流直探頭的阻抗值為表征信號，對缺陷有無及損傷程度進(jìn)行判定。掃查系統(tǒng)對硅太陽能電池的掃查方式分兩種：1)雙探頭旋轉(zhuǎn)掃查獲取硅太陽能電池局部的電各向異性分布圖；2)單一渦流直探頭對硅太陽能電池進(jìn)行回折路徑或同心圓掃描。掃查過程中，探頭檢測信號被信號檢測模塊采集并傳輸至上位機(jī)，進(jìn)行實(shí)時計(jì)算和處理后以B掃成像結(jié)果進(jìn)行顯示。采用本發(fā)明的技術(shù)方案，可用于硅太陽能電池缺陷的無損、快速檢測，為硅太陽能電池生產(chǎn)質(zhì)量控制提供有效手段。