本發(fā)明涉及一種激光晶體等離子體輔助刻蝕加工PaE方法，用于加工倍半氧化物激光晶體表面，包括下列步驟：對(duì)倍半氧化物激光晶體毛坯材料進(jìn)行形貌測(cè)量和損傷層厚度測(cè)量，以確定材料表面需要去除的深度；根據(jù)去除深度，對(duì)倍半氧化物激光晶體毛坯材料進(jìn)行等離子體表面處理，在倍半氧化物中引入H離子，把倍半氧化物轉(zhuǎn)變?yōu)闅溲趸?；利用無(wú)機(jī)酸對(duì)晶體表面刻蝕加工；對(duì)被加工表面進(jìn)行形貌測(cè)試和損傷厚度測(cè)試，檢測(cè)是否達(dá)到預(yù)期量，并決定是否繼續(xù)進(jìn)行表面處理及刻蝕加工，直至被加工表面達(dá)到預(yù)期加工目標(biāo)。本發(fā)明可以高效、無(wú)損傷、高精度地加工的激光晶體元件超光滑表面。