本發(fā)明涉及超聲成像、醫(yī)學(xué)診斷、無(wú)損檢測(cè)、液體流量測(cè)量、故障定位、生化氣體探測(cè)等領(lǐng)域的超聲換能器,具體為一種混合振膜結(jié)構(gòu)寬頻帶電容式微機(jī)械超聲換能器設(shè)計(jì)方法。一種混合振膜結(jié)構(gòu)寬頻帶電容式微機(jī)械超聲換能器設(shè)計(jì)方法,包括集成在一個(gè)芯片上且排成N×N矩形陣列的多個(gè)CMUT微元,N為奇數(shù);每行CMUT微元均由N個(gè)發(fā)射聲壓頻率各不相同的CMUT微元組成,不同行的CMUT微元均由這N個(gè)微元排列組成;每行CMUT微元按照發(fā)射聲壓頻率依次遞增或遞減的方式排列且相鄰兩行的增減排列順序相反;每行CMUT微元中,相鄰微元的發(fā)射聲壓頻率有重疊;每行CMUT微元中位于中心的微元共振頻率與整個(gè)電容式微機(jī)械超聲換能器的共振頻率相同。
聲明:
“混合振膜結(jié)構(gòu)寬頻帶電容式微機(jī)械超聲換能器設(shè)計(jì)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)