本發(fā)明公開(kāi)了一種基于FinFET制造工藝的硅納米線細(xì)胞傳感器。該細(xì)胞傳感器采用CMOS兼容的“自上而下”形成的納米線結(jié)構(gòu)，包括：在SO1襯底上的通過(guò)FinFET制造工藝形成的Si納米線、通過(guò)光刻、磁控濺射和剝離工藝制備的金電極；在該細(xì)胞傳感器的表面具有通過(guò)原子層沉積法形成的高k柵介質(zhì)層。本發(fā)明的細(xì)胞傳感器能夠?qū)铙w細(xì)胞進(jìn)行快速、準(zhǔn)確、無(wú)損和高靈敏度的檢測(cè)，而且該細(xì)胞傳感器具有微型化、可集成、制作成本低和可循環(huán)利用的等優(yōu)點(diǎn)。