本發(fā)明屬于硬脆材料的超精密加工技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種藍寶石襯底的高效混合磨料化學(xué)機械拋光液。該高效混合磨料化學(xué)機械拋光液包括混合磨料、表面活性劑、螯合劑、pH調(diào)節(jié)劑和去離子水。化學(xué)機械拋光后，在105×141μm2的較大檢測范圍下，藍寶石襯底的表面粗糙度Ra為0.530nm，材料去除速率為6.78μm/h。實現(xiàn)了藍寶石襯底的超高材料去除速率和無損傷的亞納米級表面粗糙度的化學(xué)機械拋光。