本實用新型涉及光刻機技術領域，公開了電力半導體生產(chǎn)用浸沒式光刻機，包括操作臺，所述操作臺的上端左側固定安裝有機架，所述機架上固定安裝與檢測頭，所述機架的下側設有移動臺，所述操作臺的上端右側固定安裝有清洗箱。本實用新型將芯片置于鏤空清洗籃內(nèi)，然后啟動超聲波發(fā)生器對芯片進行清理，然后啟動伺服電機帶動鏤空清洗籃上升，然后啟動暖風機，從而對芯片進行干燥，由于超聲波對芯片表面無損傷，對深孔、細縫和芯片隱蔽處亦可清洗干凈，清理效果好，提高芯片的合格率，較為實用，適合廣泛推廣和使用。