毛細(xì)管X光透鏡共聚焦微區(qū)X射線熒光譜儀是由X光源、樣品臺、顯微鏡、探測器、X射線光源和樣品臺之間的整體毛細(xì)管X光會聚透鏡以及樣品臺和探測器之間的整體毛細(xì)管X光平行束透鏡組成,它可用來對樣品進(jìn)行三維無損微區(qū)X射線熒光分析。本實用新型的核心部件是安放在光源和樣品臺之間的整體毛細(xì)管X光會聚透鏡和安放在樣品臺和探測器之間的整體毛細(xì)管X光平行束透鏡。本實用新型的核心是通過對整體毛細(xì)管X光會聚透鏡與整體毛細(xì)管X光平行束透鏡的合理調(diào)節(jié)實現(xiàn)共聚焦,從而對樣品進(jìn)行三維無損微區(qū)X射線熒光分析。同時,本實用新型可以利用功率較低的光源進(jìn)行X射線熒光分析。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單,造價低廉,便于推廣和普及。