一種光子篩相襯物鏡,包括由基底和設(shè)于所述基底上的多個(gè)透光孔所形成的光子篩透鏡及設(shè)于所述光子篩透鏡表面的變相板,所述變相板位于所述光子篩透鏡的中部或環(huán)繞于所述光子篩透鏡的邊緣,且所述光子篩透鏡的中心與變相板的中心在同一軸線上。此外,還提供光子篩相襯物鏡的制造方法及成像方法。上述光子篩相襯物鏡、制造方法及成像方法,采用光子篩透鏡抑制旁瓣和高階衍射焦點(diǎn),成像分辨率和成像對(duì)比度高;光子篩透鏡與變相板刻蝕在同一基底上且變相板設(shè)在光子篩透鏡的表面,光子篩透鏡的中心與變相板的中心在同一軸線上,能夠精確對(duì)準(zhǔn),同時(shí)降低了曝光時(shí)間和曝光劑量,可以實(shí)現(xiàn)弱吸收材料內(nèi)部微細(xì)結(jié)構(gòu)的高成像分辨率和高成像襯度無損探測(cè)。