本發(fā)明屬于鈹?shù)V分析測試技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種原位微區(qū)定量分析鈹含量的方法，采集鈹?shù)V石樣品；鈹?shù)V石樣品制作成探針片或光薄片；識別鈹?shù)V物，并對探針片或光薄片樣品表面熱蒸鍍碳膜；鈹?shù)V物原位微區(qū)定量分析。通過配置針對超輕元素的大尺寸晶面間距的分光晶體，并配備脈沖高度分析器，可以實現(xiàn)鈹?shù)V物的原位微區(qū)定量分析，可對鈹?shù)V物進(jìn)行微米級別的無損分析，有助于獲取鈹?shù)V物在微區(qū)尺度的成分信息，運(yùn)用該測試方法技術(shù)，沒有復(fù)雜的樣品制備過程，具有原位、微區(qū)、無損、實時、操作簡便、靈敏度高等優(yōu)勢。