本發(fā)明公開了一種超強(qiáng)度微針陣列制造方法，包括以下操作步驟：S1：將PMMA微針陣列作為原始模具，利用移動X射線曝光并制作PMMA微針；S2：將S1制作得到的PMMA微針通過PDMS轉(zhuǎn)模形成二次模具，在PDMS的基礎(chǔ)上涂一層導(dǎo)電材料，并且將鉻/銅在PMMA微針表面進(jìn)行濺射，從而制作PMMA微針陣列鉻/銅種子層；S3:在S2的基礎(chǔ)上進(jìn)行鎳/金剛石復(fù)合電鍍；并且在鎳/金剛石復(fù)合電鍍的過程中加入坑抑制劑。通過上述方式，本發(fā)明所設(shè)計的鎳/金剛石微針陣列具有無損傷，高強(qiáng)度，易操作的優(yōu)勢，金剛石針尖有助于使量子納米傳感變得更具成本效益和實(shí)用性，也可用于進(jìn)行諸如電磁場、溫度或應(yīng)力的高靈敏度納米級測量。國內(nèi)這種超強(qiáng)度的微針陣列尚有欠缺，發(fā)展前景廣闊。