本發(fā)明提供的是一種MEMS高溫壓力傳感器自動(dòng)鍵合機(jī),它包括臺(tái)面,在臺(tái)面上設(shè)置物流臺(tái)、操作手、加熱爐和顯微鏡,操作手安裝在由4個(gè)軸控制的4自由度操作手工作臺(tái)上,加熱爐安裝在由2個(gè)軸控制的2自由度定位工作臺(tái)上,顯微鏡安裝包括可上下運(yùn)動(dòng)的軸的顯微鏡自動(dòng)調(diào)焦工作臺(tái)上。本發(fā)明基于顯微視覺的高精度、非接觸式測(cè)量,實(shí)現(xiàn)了不論是正面還是反面MEMS高溫壓力傳感器的高精度對(duì)準(zhǔn)作業(yè);融合視覺/微力覺信息,實(shí)現(xiàn)芯片和玻璃基的高精度、無(wú)損抓取和搬運(yùn);設(shè)備的高自動(dòng)化程度使得其具有批量制造能力,提高了生產(chǎn)效率。