本發(fā)明公開了一種OLED面板激光剝離裝置，激光發(fā)射裝置用于發(fā)射激光束；分束器將激光器發(fā)射的激光束分為第一激光束和第二激光束；第一激光束依次經(jīng)過第一擴束器、第一整形器、轉(zhuǎn)折聚焦組件后形成剝離用激光束，第二激光束由分束器分出后經(jīng)反射器轉(zhuǎn)折為與原光路平行的激光繼續(xù)向前傳播經(jīng)第二擴束器及第二整形器后，再經(jīng)分光聚焦組件后分為清洗用激光束和第三激光束，第三激光束進入整形折疊聚焦組件，轉(zhuǎn)折后形成翹曲測量用激光束，垂直入射到襯底基板表面，用于做襯底基板的翹曲測量，本發(fā)明兼容大尺寸面板與小尺寸面板的激光無損剝離柔性基板的裝置，可以避免在激光剝離過程中面板翹曲不平，基本表面污染造成的剝離能量不均勻及熱積累的問題。