本發(fā)明公開(kāi)了一種薄膜傳感器高頻振動(dòng)數(shù)控分切系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括供給裝置、單面接觸移動(dòng)及定位裝置、數(shù)控分割裝置，所述供給裝置包括微型電磁制動(dòng)器和調(diào)位螺母，所述單面接觸移動(dòng)及定位裝置包括靜電發(fā)生輥、靜電消除輥、真空吸輪、微型氣泵、位置傳感器，所述數(shù)控分割裝置包括滾珠絲杠、直線(xiàn)導(dǎo)軌、高頻振動(dòng)器和切刀，高頻振動(dòng)器與切刀剛性連接組成高頻振動(dòng)切刀，系統(tǒng)動(dòng)力由步進(jìn)電機(jī)提供，同步帶傳輸動(dòng)力。利用數(shù)控分切的走刀機(jī)構(gòu)，集成靜電吸附、真空輸送和高頻振動(dòng)完成薄膜傳感器單面接觸條件下的移動(dòng)、定位、分切，具有定位準(zhǔn)確、單面無(wú)損、按需分切的特點(diǎn)，完全代替手工分切的工序，大幅度減少薄膜傳感器的浪費(fèi)，提高其利用率和測(cè)試的效率。