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異形金屬基底上的應變傳感器芯片及其原位制備方法

1213   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 08:59:25
本發(fā)明提供一種異形金屬基底上的應變傳感器芯片及其原位制備方法,將異形金屬構件作為金屬基底,在金屬基底的易變形部位上原位制備薄膜敏感柵,包括:設置于金屬基底上的絕緣隔離層;設置于絕緣隔離層上的薄膜應變柵層;設置于薄膜應變柵層上方的絕緣保護層,絕緣保護層覆蓋薄膜應變柵層的應變柵區(qū)域,同時露出薄膜應變柵層的引線電極;當異形金屬構件發(fā)生變形時,薄膜應變柵層的電阻值會產(chǎn)生變化,通過薄膜應變柵層電阻值的變化能得到異形金屬構件所受的物理量。本發(fā)明基于異形金屬基底上原位制備,能夠?qū)崿F(xiàn)機械傳動部件應變/扭矩的原位、無損傷測量,且省去了傳統(tǒng)粘結(jié)劑的使用,在高濕、鹽霧、霉菌等海洋環(huán)境和太空輻照等環(huán)境具有更高的可靠性。
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