本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件的機械力失效分析方法，其特征在于，包括以下步驟：對失效器件分析手段，找到失效點，確定失效器件的失效形貌；將失效器件的失效形貌分三大類；對判定為第三類的失效器件做進(jìn)一步分析；通過復(fù)現(xiàn)試驗及應(yīng)力分析，明確器件失效機理，分辨出碰撞力和板級應(yīng)力失效；根據(jù)器件失效機理，針對性的提出碰撞力和板級應(yīng)力失效的改善措施。