本發(fā)明提供了一種檢測半導(dǎo)體設(shè)備的靜電釋放針腳失效的方法及半導(dǎo)體設(shè)備。半導(dǎo)體設(shè)備包括晶圓載盤、靜電釋放引腳、探針和電阻檢測器。所述晶圓載盤用于承載晶圓。所述靜電釋放針腳設(shè)置在所述晶圓載盤邊緣，靜電釋放針腳構(gòu)造為在第一狀態(tài)和第二狀態(tài)間運動，在所述第一狀態(tài)時觸碰所述晶圓，在所述第二狀態(tài)時離開所述晶圓。所述探針設(shè)置在所述晶圓載盤邊緣，且適于接觸處于所述第二狀態(tài)的靜電釋放針腳。所述電阻檢測器，耦接所述探針和電位參考點，以檢測所述靜電釋放針腳的電阻值。