該發(fā)明公開(kāi)了一種三維存儲(chǔ)器的確定失效溝道孔的方法及測(cè)試樣品，所述方法包括：提供一具有失效溝道孔的失效芯片；確定漏電的失效字線層，對(duì)位于所述失效字線層兩側(cè)的所述失效芯片進(jìn)行減薄，以制備測(cè)試樣品；對(duì)測(cè)試樣品的溝道孔進(jìn)行電壓襯度分析以找出具有異常電壓襯度的溝道孔，確定失效溝道孔，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的三維存儲(chǔ)器的確定失效溝道孔的方法，能夠準(zhǔn)確快速地檢測(cè)到失效溝道孔，且能夠準(zhǔn)確檢測(cè)到輕微漏電和較小缺陷的失效溝道孔，從而能夠及時(shí)有效地找出失效原因，以提高產(chǎn)品成功率。